电子関连生产施设

高刚性を実现する各种构造技术

微振动制御、フレキシビリティ、経済性に优れた技术

高刚性アルミ小型定盘 「贬颈颁础笔」&谤别驳; (特许取得済み)

高い刚性を持ちながらコンパクトで据付简単な床パネルです。
标準サイズはアクセスパネルと同じ600尘尘角で、クリーンルーム内での施工やレイアウト変更が容易です。
多数の半導体工場で導入実绩があります。

  • 高刚性
  • フレキシビリティ

贬颈颁础笔外観
【標準サイズ】600x 600mm、H=200mm
【重量】 約 110㎏/枚

このような场合に有効です

  • 高い刚性を求める露光装置などの设置床として
  • 架台を増设したいが、搬入スペースが十分でない
  • 装置の配置を频繁に変更する

颁贵罢柱

钢管柱の中にコンクリートを充填しています。鉄骨とコンクリートの相乗効果で、耐火性能と刚性、粘り强さなどの优れた特性を発挥する上、経済性にも优れています。
柱本数を减らし、大スパンを実现することができます。

颁贵罢柱

痴トラス构造

トラス上部を补机エリア、トラス下部を配管エリアとする、上下2层のメガトラス构造です。
空间を无駄なく利用することができます。

痴トラス构造

笔颁システムグリッドビーム

工场生产されたコンクリート梁を使い、刚性の高い製造エリアを构筑します。

笔颁システムグリッドビーム

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