高刚性アルミ小型定盘 「贬颈颁础笔」&谤别驳; (特许取得済み)
高い刚性を持ちながらコンパクトで据付简単な床パネルです。
标準サイズはアクセスパネルと同じ600尘尘角で、クリーンルーム内での施工やレイアウト変更が容易です。
多数の半導体工場で導入実绩があります。
- 高刚性
- フレキシビリティ

贬颈颁础笔外観
【標準サイズ】600x 600mm、H=200mm
【重量】 約 110㎏/枚
このような场合に有効です
- 高い刚性を求める露光装置などの设置床として
- 架台を増设したいが、搬入スペースが十分でない
- 装置の配置を频繁に変更する
颁贵罢柱
钢管柱の中にコンクリートを充填しています。鉄骨とコンクリートの相乗効果で、耐火性能と刚性、粘り强さなどの优れた特性を発挥する上、経済性にも优れています。
柱本数を减らし、大スパンを実现することができます。

痴トラス构造
トラス上部を补机エリア、トラス下部を配管エリアとする、上下2层のメガトラス构造です。
空间を无駄なく利用することができます。

笔颁システムグリッドビーム
工场生产されたコンクリート梁を使い、刚性の高い製造エリアを构筑します。
