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解説
世界最大级?最先端の半导体工场をターンキー方式でつくり上げる
エルピーダメモリは、日本で唯一の顿搁础惭(コンピュータのメインメモリに使用される半导体记忆素子)専业メーカーである。2004年、広岛工场に计画された新工场は、最大稼働时に月产6万枚超の顿搁础惭生产能力を夸る世界最大级の规模であった。当社は、建物だけでなく生产活动を支える设备(クリーンルームやプロセスサポート设备)までを一括して施工する「ターンキー方式」で受注した。
着工9ヵ月後に生産装置の搬入ができるように、との非常に厳しい工期に加え、日々進化する半導体業界の情勢を反映して、発注者の设计変更の要請に柔軟に対応していく必要があり、着工時ではなく、完成した時点で世界最先端の工場として稼働できることが求められた。
発注者から提示されたOBR(基本的な要求事項)を基に、建築?設備?プロセスの设计チームと施工部門が一体となって、綿密なスケジュールや施工計画を作成したが、その際、2001年に同敷地内にDRAM工場を设计?施工で完成させた経験を活かすことができた。フレキシビリティの高い工場にするためには無柱の大空間が必要だが、微振動対策を考えると難しい设计条件であった。そこでトラス梁の構造をV字型にしてクリーンルームの下部に組み込み、躯体の強度を増すことで32mの無柱空間を実現している。
工事では、既设工场の生产に影响を与えないことも重要课题の一つであった。既存工场嫌振エリア内に振动センサを设置し、リアルタイムに周波数分析を行い、许容设定値(警报?注意报)を超えると、回転灯、ブザー等で作业员に注意唤起するなど、作业环境の改善を図った。また、本装置は通常振动と工事振动を判别し、误报を少なくする手法がとられている。
工期を短缩するために、外装工事と并行して内部のクリーンルームを构筑したが、埃が入り込まないよう、4段階のステップを踏んで、徐々にクリーンルーム内の洗浄度を高めていくプロトコル管理(段階的施工管理)で対応した。また、建材から微量に出る化学物質(アウトガス)の問題についても、当社技术研究所で検証済みの材料を用いて対処した。
