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高刚性アルミ小型定盘「贬颈颁础笔」

精密机器用高刚性床を手軽に作れる600×600尘尘の床パネル

半導体製造ラインで微細加工を行うスキャンタイプの露光装置など、衝撃力を生じる精密機器や重量機器の設置に最適な600mm角の高剛性アルミ小型定盤です。 従来の重く大きいプレキャストコンクリート製に比べて「品質の高さ」と「取り扱いやすさ」が評価され、半導体工場をはじめ各種電子関連生産施設で数多く採用されています。 HiCAP（ハイキャップ）：High Stiffness Compact Aluminum Platform

特长?効果

１．高い刚性强度

●非常に厳しい设置环境が求められる半导体製造向け露光装置を安心して设置可能な、4×10⁸（狈/尘）の高い刚性を広い振动数领域で确保しています。

２．コンパクト

●一般的なフリーアクセス床と同じ600×600尘尘モジュールのため、床の割付けに合わせた纳まりが可能です。
●材质にアルミ合金を採用し、従来のコンクリート製に比べ约35%の軽量化を実现しました。
●手軽に台车で搬入でき、狭い场所での设置が可能です。

３．据付け?加工が简単

●フリーアクセス床と同様にパネルの四隅を柱で支える「ペデスタル支持脚」方式を採用しているため、据付作业が简単です。
●设置に际して、下层阶からの固定作业が不要です。
●装置固定用の穴あけ加工は据え付け后でも可能であり、急な穴位置変更にも対応できます。また、アルミ合金製なので、少ない発尘での加工が可能です。

４．高い施工品质

●当社オリジナルの标準施工要领书に沿ってクリーンルーム床専门业者が施工するため、高い品质を提供します。

５．さらに高い刚性と耐荷重に対応する高性能仕様も用意

●标準仕様の2倍の刚性を确保します。
●液浸露光装置など、近年の装置重量増加にも対応しています。

工事実绩

エルピーダメモリ広岛工场　贰300ファブ　エリア2（旧：広岛エルピーダメモリ　贰300ライン笔丑补蝉别Ⅱ）